Verfahren zum Entfernen von Schwarzem Silizium und Schwarzem Siliziumcarbid von Siliziumflächen und Siliziumcarbidelektroden für Plasmabehandlungsvorrichtungen
EP1827871
Art B1
9. März 2016
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1827871
- Aktenzeichen
- EP05854301
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 9. März 2016
- Erteilung
- 9. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32B44C1/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Morf, Jan Stefan
NoneMünchen