Thermisch Stabiler Multilayer-Spiegel für den Euv-Spektralbereich

EP1828818 Art B1 17. Oktober 2012

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1828818
Aktenzeichen
EP05821542
Anmeldetag
23. Dezember 2005
Veröffentlichung
17. Oktober 2012
Erteilung
17. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/08G02B1/10G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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