Dreiton-Trimmaske für die Phasenverschiebungsalternierungs-Fotolithographie
EP1828841
Art A2
5. September 2007
Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1828841
- Aktenzeichen
- EP05826034
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 5. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03C5/00// G03F1/30G03F1/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Texas Instruments Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Texas Instruments
US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Holt, Michael
NoneNorthampton