Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen Scheibenförmiger Substrate
EP1829085
Art A1
5. September 2007
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1829085
- Aktenzeichen
- EP05813474
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 5. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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