Abhebe-Strukturierungsprozesse mit Energetisch Stimulierter Lokaler Entfernung von Feststoff-Kondensiertes-Gas-Schichten
Anmelder: President and Fellows of Harvard College, The President and Fellows of Harvard College 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1829088
- Aktenzeichen
- EP05853301
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 17. August 2016
- Erteilung
- 17. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033G03F7/20B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- President and Fellows of Harvard College
The President and Fellows of Harvard College - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.
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