Resistzusammensetzung für Flüssigkeitsimmersions-Belichtung und Verfahren zur Resiststrukturerzeugung

EP1830227 Art A1 5. September 2007

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1830227
Aktenzeichen
EP05811760
Anmeldetag
1. Dezember 2005
Veröffentlichung
5. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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