Magnetfluid-Abdichteinheit für eine Halbleiterwafer-Vertikalwärmebehandlungsvorrichtung
EP1830396
Art A1
5. September 2007
Anmelder: Rigaku Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1830396
- Aktenzeichen
- EP05820274
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 5. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205H01L21/22H01L21/324C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rigaku Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Rigaku
Rigaku ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher Analysegeräte, insbesondere für Röntgendiffraktion und Röntgenfluoreszenz. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Elektrotechnik-Anmeldungen. Der Anmeldezeitraum reicht von 2000 bis 2025.
281 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Oser, Andreas
München, Deutschland
153
Patente gesamt
24
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte