Mehrfache Bandpassfilterung für Pyrometrie in Lasergestützten Annealing-Systemen

EP1831658 Art B1 3. August 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1831658
Aktenzeichen
EP05809879
Anmeldetag
12. Oktober 2005
Veröffentlichung
3. August 2016
Erteilung
3. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/28H01S5/00H01S5/40G01J5/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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