Auf Intelligenten Komponenten Basierende Verwaltungstechniken in einem Substrat-Bearbeitungssystem
EP1831807
Art B1
13. Februar 2013
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1831807
- Aktenzeichen
- EP05789224
- Anmeldetag
- 19. August 2005
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2013
- Erteilung
- 13. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F19/00G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
NoneLeeds