Linienverschmälerungsmodul

EP1831974 Art B1 8. Februar 2017

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1831974
Aktenzeichen: EP05826233
Anmeldetag: 28. November 2005
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Erteilung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01S3/08H01S3/097H01S3/1055H01S3/106H01S3/225H01S3/00H01S3/036

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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