Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Untersuchen der Substratverarbeitungsbedingungen und Speichermedium

EP1833077 Art A3 28. November 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1833077
Aktenzeichen: EP07004662
Anmeldetag: 7. März 2007
Veröffentlichung: 28. November 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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