Reflektierender Fotomaskenrohling, Reflektierende Fotomaske und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Verwendung Dieser

EP1833080 Art B1 22. September 2010

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1833080
Aktenzeichen: EP05814171
Anmeldetag: 6. Dezember 2005
Veröffentlichung: 22. September 2010
Erteilung: 22. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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