Verfahren und Vorrichtung zur Unabhängigen Gewinnung des Trägerkonzentrationsniveaus und der Tiefe Elektrischer Verbindungen in einem Halbleitersubstrat aus einer Einzigen Messung
EP1834168
Art B1
1. August 2012
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1834168
- Aktenzeichen
- EP05819295
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 1. August 2012
- Erteilung
- 1. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/28G01N21/17G01R31/265G01N21/21
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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