Lichtempfindliches Silankupplungsmittel, Verfahren zur Mustererzeugung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1835346
Art B1
17. Juni 2015
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1835346
- Aktenzeichen
- EP07104028
- Anmeldetag
- 13. März 2007
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2015
- Erteilung
- 17. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/075G03F7/16C07F7/18C07F7/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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