Chemisch-mechanische Polierkopfvorrichtung mit einem schwimmenden Waferhaltering und Waferträger mit mehrzoniger Polierdrucksteuerung

EP1837122 Art B1 2. Dezember 2009

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1837122
Aktenzeichen
EP07011957
Anmeldetag
24. Februar 2000
Veröffentlichung
2. Dezember 2009
Erteilung
2. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06B24B53/007B24B49/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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