Reinigungslösung für ein Substrat zur Verwendung bei Halbleitervorrichtungen und Reinigungsverfahren damit

EP1837393 Art A3 21. Mai 2008

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1837393
Aktenzeichen: EP07005841
Anmeldetag: 21. März 2007
Veröffentlichung: 21. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C11D1/44C11D3/00C11D3/20C11D11/00H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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