Struktur zur Verbindung von Endteilen und Diese Struktur Verwendendes Vakuumsystem

EP1837521 Art A1 26. September 2007

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1837521
Aktenzeichen
EP05816834
Anmeldetag
14. Dezember 2005
Veröffentlichung
26. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/16F16J15/10F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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