Optischer Integrator, Optische Beleuchtungseinrichtung, Belichtungsapparat, Belichtungsmethode, und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP1837895
Art B1
24. Februar 2016
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1837895
- Aktenzeichen
- EP05814721
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2016
- Erteilung
- 24. Februar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G02B19/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hoffmann, Klaus
München, Deutschland
108
Patente gesamt
27
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München