Druckf[higes Medium zur Ätzung von Siliziumdioxid- und Siliziumnitridschichten

EP1838639 Art A1 3. Oktober 2007

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1838639
Aktenzeichen: EP05818404
Anmeldetag: 19. Dezember 2005
Veröffentlichung: 3. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C03C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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