Wafertragapparatur für Galvanisierungsverfahren und Verfahren zu Ihrer Verwendung

EP1838905 Art A2 3. Oktober 2007

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1838905
Aktenzeichen
EP05848890
Anmeldetag
5. Dezember 2005
Veröffentlichung
3. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/00C25D7/12C25D5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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