Flussdefinitionsstruktur zur Verwendung mit einem Kapazitiven Drucksensor

EP1839024 Art B1 11. Januar 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1839024
Aktenzeichen
EP06719569
Anmeldetag
13. Januar 2006
Veröffentlichung
11. Januar 2012
Erteilung
11. Januar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01L9/12G01L9/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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