Reinigungsverfahren für die Verunreinigungsbeseitigung bei Siliziumelektroden-Baugruppenoberflächen
EP1839330
Art A2
3. Oktober 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1839330
- Aktenzeichen
- EP05854223
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302C23G1/02C11D11/00C11D7/26C11D7/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Morf, Jan Stefan
NoneMünchen