Verfahren zur Herstellung eines hermetisch abgedichteten Hohlraums

EP1840081 Art B1 28. August 2013

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven (KUL), Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1840081
Aktenzeichen
EP07006353
Anmeldetag
28. März 2007
Veröffentlichung
28. August 2013
Erteilung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Katholieke Universiteit Leuven (KUL)
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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