Vakuumtransportvorrichtung mit beweglicher Führungsschiene

EP1840242 Art B1 29. Juni 2011

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1840242
Aktenzeichen
EP06111908
Anmeldetag
29. März 2006
Veröffentlichung
29. Juni 2011
Erteilung
29. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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