Suszeptor und Verfahren für Epitaxie

EP1840243 Art B1 12. Oktober 2011

Anmelder: SUMCO Corporation, Ishibashi, Masayuki, Krueger, John F., Dohi, Takayuki, Horie, Daizo, Fujikawa, Takashi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1840243
Aktenzeichen: EP07013771
Anmeldetag: 23. Dezember 2002
Veröffentlichung: 12. Oktober 2011
Erteilung: 12. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMCO Corporation
Ishibashi, Masayuki
Krueger, John F.
Dohi, Takayuki
Horie, Daizo
Fujikawa, Takashi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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