Optisches Interferometer zur Messung von Dickenänderungen
EP1840502
Art B1
16. September 2009
Anmelder: Mitutoyo Corporation, MITUTOYO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1840502
- Aktenzeichen
- EP07104867
- Anmeldetag
- 26. März 2007
- Veröffentlichung
- 16. September 2009
- Erteilung
- 16. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B11/06H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Mitutoyo Corporation
MITUTOYO CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitutoyo Corporation
Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.
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Vertreten von
Skone James, Robert Edmund
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