Verfahren zur Enthüllung von kristallinen Defekten in einem massiven Substrat

EP1840560 Art B1 28. Dezember 2011

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1840560
Aktenzeichen
EP07105297
Anmeldetag
30. März 2007
Veröffentlichung
28. Dezember 2011
Erteilung
28. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/95C30B33/00C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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