Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung und Flüssigkeitsverarbeitungsverfahren

EP1840942 Art B1 28. April 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1840942
Aktenzeichen: EP07006250
Anmeldetag: 27. März 2007
Veröffentlichung: 28. April 2010
Erteilung: 28. April 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H01L21/302H01L21/321H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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