Optische Beleuchtungsvorrichtung, Belichtungssystem und Belichtungsverfahren

EP1840945 Art B1 5. Oktober 2016

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1840945
Aktenzeichen: EP06711853
Anmeldetag: 18. Januar 2006
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Erteilung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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