Hologramm und Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements unter Verwendung eines Hologramms

EP1842027 Art A2 10. Oktober 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1842027
Aktenzeichen
EP06703920
Anmeldetag
20. Januar 2006
Veröffentlichung
10. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/021G01B11/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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