Verfahren zum Entfernen von Defektmaterial einer Lithographiemaske
EP1842098
Art A1
10. Oktober 2007
Anmelder: Qimonda AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1842098
- Aktenzeichen
- EP06703614
- Anmeldetag
- 26. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Qimonda AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Qimonda
Qimonda war ein deutscher Halbleiterhersteller mit Sitz in München, der 2006 aus dem Speicherchip-Geschäft von Infineon hervorging und 2009 insolvent wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung, insbesondere DRAM- und resistive Speichertechnologien. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus der kurzen Unternehmensgeschichte zwischen 2000 und 2008.
264 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beck, Josef
München, Deutschland
74
Patente gesamt
20
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte