Cluster-Tool-Architektur zum Verarbeiten eines Substrats
EP1842225
Art A2
10. Oktober 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc., Sokudo Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1842225
- Aktenzeichen
- EP05855441
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Sokudo Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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