Verfahren zur Herstellung eines auf Siliziumoxid Basierenden Materials mit Niedriger Dielektrizitätskonstante
EP1842230
Art A1
10. Oktober 2007
Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1842230
- Aktenzeichen
- EP06709451
- Anmeldetag
- 27. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
de Beaumont, Michel
Grenoble, Frankreich
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