Verfahren zur Herstellung eines III-Nitridmaterials auf einem Siliziumsubstrat

EP1842940 Art A1 10. Oktober 2007

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1842940
Aktenzeichen: EP06118018
Anmeldetag: 27. Juli 2006
Veröffentlichung: 10. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/02C30B29/40C30B29/36H01L21/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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