Verfahren zur Erzeugung eines Gruppe-Iii-Nitrid-Materials oder eines Sic-Materials auf einem Siliziumsubstrat

EP1842941 Art B1 7. November 2018

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven (KUL), IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1842941
Aktenzeichen: EP07104838
Anmeldetag: 23. März 2007
Veröffentlichung: 7. November 2018
Erteilung: 7. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/02C30B29/40C30B29/36H01L21/36C23C16/02C23C16/30C23C16/32C30B25/18C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven (KUL)
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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