Vorrichtung zur Lokalen Behandlung, Lithografische Vorrichtung und Bauelemente-Herstellungsverfahren
EP1843205
Art A1
10. Oktober 2007
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1843205
- Aktenzeichen
- EP07251277
- Anmeldetag
- 26. März 2007
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Roberts, Peter David
Manchester, Großbritannien
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