Immersionsbelichtungssystem sowie Wiederverwertungsverfahren und Verfahren zur Flüssigkeitszufuhr für die Immersionsbelichtung

EP1843387 Art A1 10. Oktober 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1843387
Aktenzeichen: EP06712065
Anmeldetag: 20. Januar 2006
Veröffentlichung: 10. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/038G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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