Vakuumpumpensystem und Betriebsverfahren

EP1844237 Art B1 18. November 2015

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1844237
Aktenzeichen
EP06701044
Anmeldetag
23. Januar 2006
Veröffentlichung
18. November 2015
Erteilung
18. November 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F04C25/02F04C28/06F04B49/06F04D27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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