Verfahren zur Erzeugung von supersekundärem Kornwachstum in schmalen Gräben
EP1845554
Art A3
13. Juli 2011
Anmelder: IMEC VZW, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1845554
- Aktenzeichen
- EP06126251
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/288H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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