Magnetischer Durchflussmesser mit Einkörper-Konstruktion und Leitenden Polymer-Elektroden
EP1846733
Art A2
24. Oktober 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1846733
- Aktenzeichen
- EP06734235
- Anmeldetag
- 2. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01F1/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Legg, Cyrus James Grahame
London, Großbritannien
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