Vibrationsdämpfung für eine Photolithographische Linsenanbringung
EP1846791
Art A1
24. Oktober 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1846791
- Aktenzeichen
- EP06706698
- Anmeldetag
- 7. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B13/18G03F7/20F16F15/16F16F9/06F16F9/12G02B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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