Makros zur Steuerung der Bewegungen von Wafern
EP1846816
Art B1
4. Januar 2012
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1846816
- Aktenzeichen
- EP06734682
- Anmeldetag
- 8. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2012
- Erteilung
- 4. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F19/00G06F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
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Patente gesamt
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