Ätzmittelbehandlungsverfahren für Substratflächen und Kammerflächen
EP1848550
Art A2
31. Oktober 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1848550
- Aktenzeichen
- EP06719625
- Anmeldetag
- 27. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/302H01L21/3065H01L21/8234H01L21/205H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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