Metallisierung mittels dünner, mit Plasmaunterstützung abgeschiedener Impfschicht

EP1849885 Art A1 31. Oktober 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1849885
Aktenzeichen
EP06113329
Anmeldetag
28. April 2006
Veröffentlichung
31. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/20C23C14/02C23C14/56H01G4/015
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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