Reel-To-Reel-Vakuumzerstäubungsvorrichtung
EP1849888
Art B1
17. August 2011
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1849888
- Aktenzeichen
- EP06713691
- Anmeldetag
- 14. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 17. August 2011
- Erteilung
- 17. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Mills, Julia
London, Großbritannien
542
Patente gesamt
26
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte