Zusammensetzung zur Bildung eines Unterschichtfilms für die Lithographie, die eine Zusammensetzung mit Geschütztem Carboxyl Enthält

EP1850180 Art A1 31. Oktober 2007

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1850180
Aktenzeichen: EP06702060
Anmeldetag: 6. Januar 2006
Veröffentlichung: 31. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08F20/28C08F20/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von