Temperatureinstellverfahren für eine Wärmebehandlungsplatte, Temperatureinstellvorrichtung für eine Wärmebehandlungsplatte, Programm und ein das Programm Aufzeichnendes Computerlesbares Aufzeichnungsmedium

EP1850372 Art A1 31. Oktober 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1850372
Aktenzeichen: EP06713303
Anmeldetag: 8. Februar 2006
Veröffentlichung: 31. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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