Linearmotor, Bühnenvorrichtung und Belichtungsvorrichtung

EP1850464 Art A1 31. Oktober 2007

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1850464
Aktenzeichen: EP06712052
Anmeldetag: 20. Januar 2006
Veröffentlichung: 31. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H02K41/03G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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