Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle

EP1851520 Art B1 8. August 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1851520
Aktenzeichen: EP06735892
Anmeldetag: 24. Februar 2006
Veröffentlichung: 8. August 2012
Erteilung: 8. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00G01J1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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