Vorrichtung zur Belichtung mit Geladenen Teilchen mit Elektrostatischer Zonenplatte
EP1851784
Art B8
19. Oktober 2016
Anmelder: IMS Nanofabrication AG, IMS Nanofabrication GmbH 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1851784
- Aktenzeichen
- EP06704691
- Anmeldetag
- 9. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2016
- Erteilung
- 19. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMS Nanofabrication AG
IMS Nanofabrication GmbH - Land
- 🇦🇹 Österreich